大連精密鑄造加工機床的主軸在加工過程中直接支持工件或刀具的運動,故主軸的回轉精度直接影響到工件的加工精度。因此可以說主軸是超精密加工機床中較重要的一個部件,通過機床主軸的精度和特性可以評價機床本身的精度。
目前研制開發(fā)的超精密加工機床的主軸中精度較高的是靜壓空氣軸承主軸(磁懸浮軸承主軸也越來越受到人們的重視,其精度在迅速得到提高)。空氣軸承主軸具有良好的振擺回轉精度。主軸振擺回轉精度是除去軸的圓度誤差和加工粗糙度影響之外的軸心線振擺,即非重復徑向振擺,屬于靜態(tài)精度。
目前高精度空氣軸承主軸回轉精度可達0.05μm,較高可達0.03μm,由于軸承中支承回轉軸的壓力膜的均化作用,空氣軸承主軸能夠得到高于軸承零件本身的精度。例如主軸的回轉精度大約可以達到軸和軸套等軸承部件圓度的1/15~1/20。
學者研究表明,當軸和軸套的圓度達到0.15~0.2μm的精度時,可以得到10nm的回轉精度,并通過FFT測定其所制造的精度較高的空氣軸承主軸的回轉精度為8nm。HCM-Ⅰ超精密加工機床的密玉石空氣軸承主軸的圓度誤差≤0.1μm。
另外,空氣軸承主軸還具有動特性良好、精度壽命長、不產(chǎn)生振動、剛性/載荷量具有與使用條件相稱的值等優(yōu)點。但是在主軸剛度、發(fā)熱量與維護等方面需要做細致的工作。要做到納米級回轉精度的空氣軸承主軸,除空氣軸承的軸及軸套的形狀精度達到0.15~0.2μm,再通過空氣膜的均化作用來實現(xiàn)外,還需要保持供氣孔流出氣體的均勻性。
供氣孔數(shù)量、分布精度、對軸心的傾角、軸承的凸凹、圓柱度、表面粗糙度等的不同,均會影響軸承面空氣流動的均勻性。而氣流的不均勻是產(chǎn)生微小振動的直接原因,從而影響回轉精度。要改善供氣系統(tǒng)的狀況,軸承材料宜選用多孔質材料。
這是因為多孔質軸承是通過無數(shù)小孔供氣的,能夠改善壓力分布,在提高承載能力的同時,改善空氣流動的均勻性。多孔質材料的均勻性是很重要的。因為多孔質供氣軸承材料內部的空洞會形成氣腔,如不加以控制會引起氣錘振動,為此必須對表面進行堵塞加工。
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